操作程序 - Agilent Technologies VacIon Plus 800 Manual Del Usuario

使用说明
操作程序
1
检查控制器的高压极性对于泵是否正确：Diode泵为正极，StarCell泵为负极。
在操作泵时，请参考相关的泵控制单元说明手册，并按照以下步骤进行操作：根
据在真空系统中通过预真空涡轮分子泵（由主泵支持）建立最小启动压力。 我
们建议在离子泵和涡轮分子泵之间安装全金属阀，以便以后可以对其进行绝缘。
2
将控制单元插入合适的电源并打开电源。按照控制单元手册中的说明为离子泵
供电。
3
观察控制单元显示屏上的电压、电流和压力。如果离子泵在过高的压力下启
动，通常电压大约为数百伏特。如果电压在这些值下保持不变，为了避免泵过
热，我们建议将其关闭，并在较低的压力下再次启动（参见"使用"的段落）。
如果电流值接近控制单元的短路电流，则可能表明泵和系统中存在无限制的辉
光放电。在任何启动过程中，通常都会发现粗抽压力暂时升高。 如果已将离子
泵启动至建议压力，则电压将迅速达到预设值（3、5或7 kV）。 一旦达到工作
电压，电流将开始减小。 我们建议此时关闭粗抽阀，以使离子泵和系统与涡轮
分子泵隔离。 如果在关闭粗抽阀后离子泵电压下降，请重新打开该阀以进行其
他粗抽。.
随着压力降低，电压将再次升高，并且粗抽阀可能会关闭。
4
当电压达到预设的运行值时，如果控制单元具有此预设，则将其设置为"保
护"状态。 现在系统可以得到自动保护，防止压力超过预设极限。 如果发生
这种增加，控制单元将自动关闭。
5
如果控制单元允许您设置使用中的泵类型，则控制器显示屏将显示通过转换当
前值获得的压力值，该压力值与本手册"技术信息"段落中显示的压力相对于
电流的曲线图一致。 如果控制器没有此倾向，请直接参考此图。 值得注意的
是，如果离子泵在运行过程中开始受到泄漏电流的影响，则压力指示可能不正
确。 在这种情况下，通过显示屏上显示的电流转换获得的压力将高于实际压
力。
Agilent VacIon Plus 800 User Manual 147