使用说明
真空加泵控制器
以下控制器系列可用于为 VacIon Plus 800 泵提供:
4UHV控制器
IPC-Mini
请参阅安捷伦真空目录(Agilent Vacuum Catalogue),为每个泵选择正确的控制
器(极性和功率)。
控制单元连接
连接控制单元和离子泵的高压电缆中的高电压可能导致严重伤害或死亡。在
警告
连接泵高压馈通电缆的高压连接器之前,或在卸下电缆之前,请确保从控制
单元上卸下主电源。
为避免受伤,在将高压泵安装到系统中之前,切勿将高压电缆连接到泵上,
警告
并且确保所有入口法兰均已正确连接或堵死。 确保泵已正确连接到接地的真
空系统。
在从控制单元上拆下电缆的高压接头之前,请确保从控制单元上卸下主电
警告
源。从控制单元上卸下主电源后至少等待 10 秒钟,以允许电容器完全放
电。
要从控制器上断开同轴高压电缆,请从控制单元上滑动安全锁定套筒(几乎不需要
套筒移动),同时拉动电缆接头的公端,将其从控制单元的插座上拆下。
Agilent VacIon Plus 800 User Manual
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